ラスタ変換の方法は目的にあわせて変える

水位や標高データ等を、扱いやすいようにラスタ変換する場合、IDW、スプライン、グリギングと大きく分けて3つの手法があります。

目的に応じて使い分けるようですが、元々の値の内数になるのはIDW、スプライン及びグリギングは元々の値を越えたセル値を設定してしまいます。計算上出てきた値よりも大きくなっては困る場合は、滑らかな形に補正するIDWが良さそうです。

IDWは距離が近いほど、その値を重視した補正（乗算）を行いますので、より点の値を重視したラスタを作りたい場合は2とか3とかにします。たぶん滑らかな方が良い場合は、乗数1が良いのかなと思います。

IDWでラスタを作れないほどデータ数が多い場合は、Spatial Analystツールから内挿＞Natural Neighbor であれば作成することが出来るようです。

細かいことを知りたい場合は、マニュアル（ユーザーズガイドp.395）を見てください。